Flexible fabrication of micro-optics arrays with high-aspect-ratio by an offset-tool-servo diamond machining system
Flexible fabrication of micro-optics arrays with high-aspect-ratio by an offset-tool-servo diamond machining system
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通过偏置刀具伺服金刚石加工系统灵活制造高纵横比微光学阵列
DOI：
10.1364/oe.27.009631
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
Zhang Shaojian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sun Zhanwen;To Suet;Zhang Guoqing;Zhang Shaojian
