Oxygen out-diffusion from buried layers in SOI and SiC–SOI substrates
Oxygen out-diffusion from buried layers in SOI and SiC–SOI substrates
复制标题
SOI 和 SiC-SOI 衬底中埋层的氧向外扩散
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Olsson
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ling;Ö. Vallin;Jun Lu;U. Smith;H. Norström;J. Olsson
