イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用

イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用
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使用离子束沉积和极性反转装置应用进行晶体取向控制

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柳谷隆彦
柳谷隆彦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
木下紗里那;柳谷隆彦;柳谷隆彦

文献摘要

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