銀ダイレクトボンディングにおける接合条件の最適化
銀ダイレクトボンディングにおける接合条件の最適化
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银直接键合键合条件的优化
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
呉 哲旼,長尾 至成,菅原 徹,菅沼 克昭
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Atsushi Nakamura;Jiyong Kang;Yasufumi Umena;Keisuke Kawakami;Shen Jian-Ren;Nobuo Kamiya;and Masaru Tateno;Y.Ando;呉 哲旼,長尾 至成,菅原 徹,菅沼 克昭