Comparison of chromium nitride coatings deposited by DC and RF magnetron sputtering
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DOI：
10.1016/j.tsf.2010.10.067
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发表时间：
2011-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Shuyong Tan;Xuhai Zhang;Xiangjun Wu;F. Fang;Jianqing Jiang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shuyong Tan;Xuhai Zhang;Xiangjun Wu;F. Fang;Jianqing Jiang
