形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータ
形状記憶合金薄膜マイクロアクチュエータ
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形状记忆合金薄膜微执行器
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮崎修一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamori Keiji;Kawamura Hiroshi Tani Akinori;Takizawa Atsushi;宮崎修一
