Deposition of GaAs Epitaxial Layers by Organometallic CVD Temperature and Orientation Dependence
Deposition of GaAs Epitaxial Layers by Organometallic CVD Temperature and Orientation Dependence
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DOI:
10.1149/1.2119780
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发表时间:
1983-03
影响因子:
3.9
通讯作者:
D. Reep;S. Ghandhi
中科院分区:
文献类型:
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作者:
D. Reep;S. Ghandhi
Etude de l'influence sur la vitesse de depot des pressions partielles des phases reagissantes en phase vapeur et des orientations du support. Relations avec les energies d'activation du depot associees a trois regions de croissance