Growth and integration challenges for carbon nanotube interconnects
Growth and integration challenges for carbon nanotube interconnects
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碳纳米管互连的增长和集成挑战
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. V. Veen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Vanpaemel;Masahito Sugiura;Y. Barbarin;S. Gendt;Z. Tokei;P. Vereecken;M. V. Veen
