Polycrystalline diamond MEMS resonator technology for sensor applications.
Polycrystalline diamond MEMS resonator technology for sensor applications.
复制标题
适用于传感器应用的多晶金刚石 MEMS 谐振器技术。
DOI：
10.1016/j.diamond.2005.08.032
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Nelson Sepulveda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Sullivan;D. Aslam;Nelson Sepulveda
