Optical and Langmuir probe diagnostics of an Argon plasma in an RF reactive magnetron sputtering system
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复制标题
射频反应磁控溅射系统中氩等离子体的光学和朗缪尔探针诊断
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Farzaneh Arefi-Khonsari
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinsuke Mori;Houssam Fakhouri;Jerome Pulpytel;Farzaneh Arefi-Khonsari
