T.Haga, H.Kinoshita, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Watanabe: "Evaluation of finished EUVL Mask using a Mirau Intergenometric Microscope"Japan, Journal, Applied, Physics. 42. 3771-3775 (2003)
T.Haga, H.Kinoshita, K.Hamamoto, S.Takada, N.Kazui, S.Kakunai, H.Tsubakino, T.Watanabe: "Evaluation of finished EUVL Mask using a Mirau Intergenometric Microscope"Japan, Journal, Applied, Physics. 42. 3771-3775 (2003)
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T.Haga、H.Kinoshita、K.Hamamoto、S.Takada、N.Kazui、S.Kakunai、H.Tsubakino、T.Watanabe：“使用 Mirau 基因间显微镜评估成品 EUVL 面膜”日本、期刊、应用、
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