Influence of surface roughness on measuring depth profiles and the total amount of implanted ions by RBS and ERDA
Influence of surface roughness on measuring depth profiles and the total amount of implanted ions by RBS and ERDA
复制标题
表面粗糙度对 RBS 和 ERDA 测量深度剖面和注入离子总量的影响
DOI：
10.1016/s0168-583x(97)00798-2
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发表时间：
1998
影响因子：
1.3
通讯作者：
R. Grötzschel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Behrisch;S. Grigull;U. Kreissig;R. Grötzschel
