MgとWを同時添加したAlN薄膜の作製
MgとWを同時添加したAlN薄膜の作製
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同时添加Mg和W制备AlN薄膜
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秋山 守人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平田 研二;豊福朋也;山田 浩志;Anggraini Sri Ayu;新津甲大;上原雅人;秋山 守人
