Alイオン錯化時間とミストCVD成長によるAlGaO混晶成長
Alイオン錯化時間とミストCVD成長によるAlGaO混晶成長
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通过 Al 离子络合时间和雾气 CVD 生长进行 AlGaO 混合晶体生长
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田茉莉香，宇野和行，田中一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Yokoyama;N. Hirata;H. Tsunoyama;T. Eguchi;Y. Negishi;A. Nakajima;Hiroyuki Odagawa;太田茉莉香，宇野和行，田中一郎;飯島智徳，江上喜幸，明楽浩史;太田茉莉香，宇野和行，田中一郎
