T.Nagata,H.Terabe,S.Kuwahara,S.sakurai O.Tabata,S.Sugigama,M.Esashi: "Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements." Tech.Digest of the Transducers '91.
T.Nagata,H.Terabe,S.Kuwahara,S.sakurai O.Tabata,S.Sugigama,M.Esashi: "Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure Measurements." Tech.Digest of the Transducers '91.
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T.Nagata、H.Terabe、S.Kuwahara、S.sakurai O.Tabata、S.Sugigama、M.Esashi：“采用 CMOS 技术进行低压测量的数字补偿电容式压力传感器。”
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