Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
Plasma etching of DLC films for microfluidic channels
复制标题
用于微流体通道的 DLC 薄膜的等离子蚀刻
DOI：
10.1016/s0026-2692(03)00077-6
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Mansano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Massi;J. Ocampo;H. Maciel;K. Grigorov;C. Otani;L. Santos;R. Mansano
