Device design and manufacturing issues for 10 nm-scale MOSFETs: a computational study

Device design and manufacturing issues for 10 nm-scale MOSFETs: a computational study
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10 nm 级 MOSFET 的器件设计和制造问题:计算研究

DOI:
10.1016/j.sse.2003.12.022
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发表时间:
2004
影响因子:
1.7
通讯作者:
M. Lundstrom
M. Lundstrom
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
S. Hasan;Jing Wang;M. Lundstrom

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