電子ビーム照射による有機・無機ハイブリッド微細パターンの直接形成
電子ビーム照射による有機・無機ハイブリッド微細パターンの直接形成
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通过电子束照射直接形成有机/无机杂化精细图案
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本洋揮
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Natsui Shungo;Shibuya Ryota;Suzuki Ryosuke O.;Kikuchi Tatsuya;Ito Akihisa;Sato Takahiro;Yamamoto Rei;Nogami Hiroshi;山本洋揮
