水蒸気スパッタ法を用いたクロム酸化物薄膜の高速成膜
水蒸気スパッタ法を用いたクロム酸化物薄膜の高速成膜
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蒸汽溅射法高速沉积氧化铬薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木場隆之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王ハン;阿部良夫;川村みどり;金 敬鎬;木場隆之
