反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるSiO2/HfO2誘電体分布ブラッグ反射鏡の作製
反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるSiO2/HfO2誘電体分布ブラッグ反射鏡の作製
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反应螺旋波激发等离子体溅射法制备SiO2/HfO2介质分布式布拉格反射器
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秩父重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
嶋紘平;粕谷拓生;小島一信;秩父重英
