小口径放電管内で13.56MHzRFスイッチングにより生成された酸素負イオンのレーザー光脱離法による計測
小口径放電管内で13.56MHzRFスイッチングにより生成された酸素負イオンのレーザー光脱離法による計測
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采用激光光解吸法测量小直径放电管中 13.56MHz 射频开关产生的氧负离子
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
比村治彦 他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清原彰;比村治彦 他
