エレクトレットを用いた無給電加速度センサ -概念とセラミック基板上への作製-
エレクトレットを用いた無給電加速度センサ -概念とセラミック基板上への作製-
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使用驻极体的寄生加速度传感器 - 陶瓷基板上的概念和制造 -
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木昌人,今井正太,高橋智一,青柳誠司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Iwasaki;K.;Miyazaki;N. and Omura;T;S.Matsuyama;K.Fukushima;鈴木昌人,今井正太,高橋智一,青柳誠司
