Neutron-enhanced annealing of ion-implantation induced damage in silicon heated by nuclear reactions
Neutron-enhanced annealing of ion-implantation induced damage in silicon heated by nuclear reactions
复制标题
核反应加热硅中离子注入诱导损伤的中子增强退火
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Ishigami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Kinomura;T. Yoshiie;A. Chayahara;Y. Mokuno;N. Tsubouchi;Y. Horino;Qiu Xu;K. Sato;K. Yasuda;R. Ishigami
