Reactive sputtering by SF6 cluster ion beams
Reactive sputtering by SF6 cluster ion beams
复制标题
SF6 团簇离子束反应溅射
DOI：
10.1016/s0168-583x(96)00555-1
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发表时间：
1997
影响因子：
1.3
通讯作者：
I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Toyoda;Hiroaki Kitani;J. Matsuo;I. Yamada
