Characterization of diamond films deposited using C3H6OxH2 gas mixtures

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使用 C3H6OxH2 气体混合物沉积的金刚石薄膜的表征

DOI:
10.1016/0925-9635(93)90213-l
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发表时间:
1993
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Shing
Shing
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Chia;Sheng;T. Hong;Shing

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