Actinic Mask Inspection Using an EUV Microscope-Preparation of a Mirau Interferometer for Phase-Defect Inspection-
Actinic Mask Inspection Using an EUV Microscope-Preparation of a Mirau Interferometer for Phase-Defect Inspection-
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使用 EUV 显微镜进行光化掩模检查 - 用于相位缺陷检查的 Mirau 干涉仪的准备 -
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Kinoshita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Hamamoto;Y.Tanaka;H.Kawashima;S.Y.Lee;N.Hosokawa;N.Sakaya;M.Hosoya;T.Shoki;T.Watanabe;H.Kinoshita
