S.Iizuka: "Electron Energy Control by PinーHollow Cathode" Proc.of the 7th Symp.on Plasma Processing. 7. 313-316 (1990)
S.Iizuka: "Electron Energy Control by PinーHollow Cathode" Proc.of the 7th Symp.on Plasma Processing. 7. 313-316 (1990)
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S.Iizuka：“针空心阴极的电子能量控制”Proc.of the 7th Symp.on Plasma Process。 7. 313-316 (1990)
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