TiN scanning probes for electrical profiling of nanoelectronics device structures
TiN scanning probes for electrical profiling of nanoelectronics device structures
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用于纳米电子器件结构电学分析的 TiN 扫描探针
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
W. Vandervorst
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hantschel;A. Schulze;U. Celano;A. Moussa;K. Arstila;P. Eyben;B. Majeed;D. Tezcan;Thilo Werner;W. Vandervorst
