POLYCRYSTALLINE SILICON FILM THICKNESS MEASUREMENT FROM ANALYSIS OF VISIBLE REFLECTANCE SPECTRA
POLYCRYSTALLINE SILICON FILM THICKNESS MEASUREMENT FROM ANALYSIS OF VISIBLE REFLECTANCE SPECTRA
复制标题
DOI：
10.1364/josa.69.001143
复制
发表时间：
1979-01-01
影响因子：
--
通讯作者：
HAUGE, PS
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
HAUGE, PS
