感光性ナノコンポジットを用いた駆動膜のセルフアライメント加工技術の開発
感光性ナノコンポジットを用いた駆動膜のセルフアライメント加工技術の開発
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光敏纳米复合材料驱动薄膜自对准加工技术的开发
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中原 佐
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平井智大，伊東明俊;中原 佐
