Variable Pressure Scanning Electron Microscopy (VPSEM)
Variable Pressure Scanning Electron Microscopy (VPSEM)
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变压扫描电子显微镜 (VPSEM)
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Joy
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Goldstein;D. Newbury;J. Michael;N. Ritchie;J. H. Scott;D. Joy
传统的扫描电镜必须在样品室中低于~10−4 Pa（~10−6 Pa）的压力下工作，这一条件取决于满足四个关键仪器操作条件的需求：
The conventional SEM must operate with a pressure in the sample chamber below ~10−4 Pa (~10−6 torr), a condition determined by the need to satisfy four key instrumental operating conditions: