Effect of Surface Oxidation on Micromachinability of Monocrystalline Silicon
Effect of Surface Oxidation on Micromachinability of Monocrystalline Silicon
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表面氧化对单晶硅微加工性能的影响
DOI：
10.1016/s0007-8506(07)62148-9
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Mohri
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Inamura;G. Feng;N. Takezawa;N. Mohri
