Chirp-Kalibriernormale für Oberflächenmessgeräte (Chirp Calibration Standards for Surface Measuring Instruments)
Chirp-Kalibriernormale für Oberflächenmessgeräte (Chirp Calibration Standards for Surface Measuring Instruments)
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Chirp-Kalibriernormale für Oberflächenmessgeräte（表面测量仪器的 Chirp 校准标准）
DOI：
10.1524/teme.2007.74.11.572
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Wilhelms
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Krüger;Peter Bakucz;L. Jung;H. Wilhelms
在这个Beitrag中有一个“Chirp”-Oberflächennormal vorgestellt。这是一个非常值得一看的地方，它有一个非常频繁的测试，测试对象是Oberflachenmessgeraten。Die Topographie des Normals enthält eine abgestufte Folge von Sinuswellen，deren Abstände，Steigungen und Krümmungen durch den Synthese- und Fertigungsprozess genau bekannt sind.法线的上平面将通过一个钻石-钻石工艺来完成。在NC-Steuerdaten的数据处理中，形态学操作会对工作几何学产生影响。第一个由Chirp-Normal的Messungen和Interferenzmikroskopen和Tastschnittgeräten韦尔登组成的测试。本文介绍了一种啁啾校准标准。通过一系列不同的空间标度频率来测试表面测量仪器的功能传递。该标准包含一系列正弦波，其距离、斜率和曲率在设计和制造过程中是众所周知的。样品的表面是由一个单一的金刚石车削过程。控制数据通过形态学操作考虑了切削刀具的影响。首先测量结果的啁啾标准的接触针式仪器和干涉显微镜。
In diesem Beitrag wird ein „Chirp”-Oberflächennormal vorgestellt. Es ist dafür vorgesehen, mit einer Serie von verschiedenen Ortsfrequenzen das Übertragungsverhalten von Oberflächenmessgeräten zu testen. Die Topografie des Normals enthält eine abgestufte Folge von Sinuswellen, deren Abstände, Steigungen und Krümmungen durch den Synthese- und Fertigungsprozess genau bekannt sind. Die Oberfläche des Normals wird durch einen Diamant-Drehprozess hergestellt. Bei der Erzeugung der NC-Steuerdaten wird mittels morphologischer Operationen der Einfluss der Werkzeuggeometrie berücksichtigt. Erste Ergebnisse von Messungen am Chirp-Normal mit Interferenzmikroskopen und Tastschnittgeräten werden gezeigt. In this article a chirp-calibration standard is presented. It is intended to test the function transfer of surface measuring instruments by a series of different space scaled frequencies. The standard contains a sequence of sinusoidal waves, the distance, slopes and curvatures of which are well known from the design and the manufacturing process. The surface of the specimen is manufactured by a single diamond turning process. The control data take into account the influence of the cutting tool by morphological operations. First results of measurements on the chirp standard by both a contact stylus instrument and an interference microscope are presented.