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Deep U. V. Mask Aligner For Investigation of Microfabri- Cation of Submicron Geometry Devices

Deep U. V. Mask Aligner For Investigation of Microfabri- Cation of Submicron Geometry Devices
用于亚微米几何器件微加工研究的深紫外掩模对准器
批准号：
8203423
负责人：
Mark Kryder
金额：
$6.0万
依托单位：
Carnegie-Mellon University
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1982
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1982-06-01 至 1983-11-30
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8203423&HistoricalAwards=false
关键词：
DeepU.V.MaskAligner

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Thin Film Depositon System for Storage Device Prototyping
  • 批准号：
    9813977
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $64.58万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    Mark Kryder
  • 依托单位：
    Carnegie-Mellon University
Frontiers of Magnetic Recording
  • 批准号：
    9732369
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $189.0万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    Mark Kryder
  • 依托单位：
    Carnegie-Mellon University
Workshop on Advanced Data Storage Technology for Computer Systems, December 19-20, 1989, Pittsburgh, Pennsylvania
  • 批准号：
    9003014
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $2.49万
  • 财政年份：
    1989
  • 负责人：
    Mark Kryder
  • 依托单位：
    Carnegie-Mellon University
Design of Novel System Architectures and Improved Perform- ance Bubble Devices
  • 批准号：
    8319769
  • 项目类别：
    Continuing Grant
  • 资助金额：
    $36.0万
  • 财政年份：
    1984
  • 负责人：
    Mark Kryder
  • 依托单位：
    Carnegie-Mellon University
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