Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)

1-1 multicompositstruckturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die night durch as subsubstrate geklemmt sind。论文题目：1-3压电陶瓷材料（PZT）、压电陶瓷材料（AlN）、压电陶瓷材料（PZT）。Weiterhin wind makroporöses硅和铟铝模板<e:1> r 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet。[3][1][1][1][1][1][2]。darberhinaus风模directerte Verwendung von isolierenden makroporösem InP也压电元件元件（piezoelektrischen Komponente untersucht）。

Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.