Dreidimensionale Atomsonde mit SEM/FIB Workstation

“亚琛工业大学一个科学研究小组的研究是一个科学研究项目，它是一个新的韦尔登发展项目。这些数据可以帮助我们改进我们的工作。因此，在亚琛进行的韦尔登强化相变材料研究中，在超声波晶化作用下的白垩生成过程中，我们发现了一种新的氧化剂。一个来自爱奥尼亚人的关于Schaltprozesses kommt.这些原子能研究人员利用纳米技术和先进的分析技术，对这些特性进行了测试。因此，如果使用普通的电介质材料，一般人会理解韦尔登。在50-100 nm的小口径韦尔登中，这种激光加工将成为一种技术上的有益尝试，在亚纳米范围内进行横向和纵向的增强。我们将用先进的分析技术来检验。FIB/SEM工作站是用于原子探测器的探针。该探测器将在三个不同的分析韦尔登中对元素进行原子排列。Zudem soll das SEM/FIB auch für die Realisierung von Nanodevices in der Nanoelektronik und die Preäparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie genutzt韦尔登.“

„Ziel der Untersuchungen einer Gruppe von Wissenschaftlern an der RWTH Aachen ist die Untersuchung resistiver Schaltprozesse, die zur Entwicklung neuer Speicherkonzepte eingesetzt werden. Diese Datenspeicherung beruht dabei auf atomaren Umordnungsprozessen. So basieren Phasenwechselmaterialien, die in Aachen intensiv erforscht werden, auf der ultraschnellen Kristallisation von Chalkogenidlegierungen, während es bei resistiv schaltenden Oxiden zu einer Änderung der Oxidationszahl bzw. einer Bewegung von Ionen aufgrund des Schaltprozesses kommt. Diese atomaren Umlagerungen spielen sich auf der Nanometerskala ab und benötigen daher anspruchsvolle Analysetechniken, um die Proben zu charakterisieren. Zudem kommt es zu Reaktionen mit dem umgebenden Elektrodenmaterial, die genauer verstanden werden müssen. Da diese Schaltprozesse vor allem in kleinen Zellen von 50-100 nm untersucht werden, wird ein Repertoire von Techniken benötigt, das in lateraler und vertikaler Richtung eine Auflösung im Subnanometerbereich erlaubt. Daher wollen wir avancierte Analysetechniken einsetzen. Die hier beantragte FIB/SEM Workstation soll die Proben für die Atomsonde herstellen. Mit dieser Sonde soll dann die atomare Anordnung der Elemente in drei Dimensionen analysiert werden. Zudem soll das SEM/FIB auch für die Realisierung von Nanodevices in der Nanoelektronik und die Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie genutzt werden.“