Hochauflösende Elektronenstrahlmikrosonde mit Feldemissionsquelle

电子分析(ESMA)是一种有效的电子分析方法，用于分析各种材料的特性。新的米克罗索德将在18岁时定制，并在10岁以下的人中死掉一顶帽子。这顶帽子是一顶漂亮的帽子，戴着这顶帽子，戴着一顶漂亮的帽子，戴着一顶漂亮的帽子。这是一件非常重要的事情，因为这件事发生了很大的变化。这是一件非常重要的事情。他说：“这是一件很重要的事情，我们不能把所有的事情都做好。”我是Vorliegenden Antrag soll Deshalb eine Hochauflösende Mikrosonde麻省理工学院费尔德米克罗索尔·比安格特。我们计划对100 nm以下的波长进行实验。在Kombinierten实验和理论的基础上，我们得到了更多的信息，更多的信息。

Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA) ist am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie (GFE) der RWTH Aachen eine unverzichtbare Methode zur analytischen Charakterisierung in verschiedenen materialwissenschaftlichen Anwendungsbereichen. Die letzte neue Mikrosonde wurde bereits vor über 18 Jahren beschafft, und die Störanfälligkeit dieses Gerätes hat in den letzten Jahren extrem zugenommen. Hinzu kommt, dass der Hersteller Mitte des letzten Jahres angekündigt hat, dass er zukünftig die Verfügbarkeit und Lieferung von Ersatzteilen nicht mehr garantieren kann. Die Vielzahl der am GFE mit Hilfe der Mikrosonde durchgeführten bzw. unterstützten Forschungsvorhaben machen dieses Instrument aber zu einem der wichtigsten Werkzeuge, zum Beispiel in der Untersuchung von Stählen und anderen Werkstoffen, aber auch in der Dünnschicht- und Oberflächenanalytik. Hinzu kommt, dass die Notwendigkeit in der Werkstoffentwicklung immer kleinere Strukturen immer genauer und umfassender zu charakterisieren, auch die Grenzen der vorhandenen Ausstattung aufzeigt. Im vorliegenden Antrag soll deshalb eine hochauflösende Mikrosonde mit Feldemissionsquelle beantragt werden. Wir planen die Realisierung einer experimentellen Auflösung im sub-100nm-Bereich. Zudem wollen wir in kombinierten experimentellen und theoretischen Untersuchungen nachweisen, dass durch Entfaltung mit dem Streuprofil eine Informationsauflösungsvermögen im Bereich von wenigen zehn Nanometern mit einer Mikrosonde realisierbar ist.