30 cm Waferprober

Das beantragte Gerät soll zur Verbesserung der infrastructure des ASIC laborders Universität海德堡。(1)《集成电路技术与应用》，物理研究所。新基础设施建设与工程规划。Folgende Projekte werden von der Neuanschaffung profitien der durden diese erst ermöglicht: der Bau von Hybridsystemen besteend aus silium -光电倍增管（SiPMs） mit der dazugehörigen Ausleseelektronik erfordereine Reihe von Einzelschritten, die jeweles detailliert auf die Qualität der ausf<e:1> hrung getestet werden m<e:1> ssen；因此，我们可以优化herstellungspprozedur （herstellungprozedur）。gewahrleistet了;在快速原型设计中，设计了一种高效的快速原型设计方法。神经形态学研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究：硬件研究德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国大足一号乘员30厘米微晶片探测仪采用非定形基础。因此，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中，我在我的工作中。

Das beantragte Gerät soll zur Verbesserung der Infrastruktur des ASIC Labors der Universität Heidelberg beitragen. Das ASIC Labor wird gemeinschaftlich von den Instituten der Physik genutzt. Somit steht die neue Infrastruktur einer Vielzahl von Projekten zur Verfügung. Folgende Projekte werden von der Neuanschaffung profitieren oder durch diese erst ermöglicht: Der Bau von Hybridsystemen bestehend aus Silizium-Photomultipliern (SiPMs) mit der dazugehörigen Ausleseelektronik erfordert eine Reihe von Einzelschritten, die jeweils detailliert auf die Qualität der Ausführung getestet werden müssen; nur so kann eine optimale Herstellungsprozedur entwickelt bzw. gewährleistet werden; ein Rapid-Prototyping kann effizient nur durchgeführt werden, wenn die Infrastruktur vor Ort vorhanden Ist. Für die Forschung im Bereich neuromorpher Hardware werden komplette Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 30 cm benötigt. Diese müssen mehrfach In unterschiedlichen Bearbeitungsschritten zusammen mit maßgeschneiderter Testelektronik auf einem Teststand vermessen werden. Dazu ist ein passender 30 cm Waferprober die notwendige Basis. Auch Im Bereich der Entwicklung von HVMAPS Pixeldetektoren, sowie Im Bereich der Entwicklung von Auslesechips von Spurdetektoren sind detaillierte Testprozeduren notwendig für die der Waferprober eingesetzt werden wird.