In situ-Photolumineszenzuntersuchungen an durch Laserpyrolyse hergestellten Silicium-Nanoclustern

在一个Strömungsreaktor韦尔登簇和nanoskelige粒子从硅通过CO2激光热解硅从气相erzeugt和通过一个conische Düse在一个Molekularstrahlapparatus überführt。通过膨胀法将纳米粒子电离并在一个飞行时间质谱仪分析仪中固定韦尔登。DIGITAL EINQUINES EINQUINES CHOPPERS IN DEN EINQUITERAHL IST ES möglich，die Partikelgrößenverteilung erheblich einzuengen und monokristalline Silicium-Nanoteilchen größenselektiv auf geigneten Substraten abuscheiden. In Mittelpunkt steht die Untersuchung der Photolumineszenz（PL）der Silicium-Nanoteilchen als Funktion der Teilchengröße. Außerdem韦尔登die Temperatur- und Zeitabhängigkeit der Photolumineszenz sowie der Einfluenza der Oberflächenpassivierung（Oxidation，Hydrierung）untersucht. Um eine kontrollierte Passivierung durchführen zu knnen，müssen die Lumineszenz-Experimente in derselben Vakuumapparatur stattfinden，in der die Teilchen erzeugt韦尔登。将硅纳米粒子引入到冷基基质中，将使其上表面无源化。Zusätzlich韦尔登迪PL-Untersuchungen von einer Charakterisierung mittels hochauflösender Elektronenmikroskopie（HREM）begleitet.

In einem Strömungsreaktor werden Cluster und nanoskalige Partikel aus Silicium durch CO2-Laser-Pyrolyse von Silan aus der Gasphase erzeugt und durch eine konische Düse in eine Molekularstrahlapparatur überführt. Anschließend werden die durch die Expansion abgekühlten Nanoteilchen ionisiert und in einem Flugzeitmassenspektrometer analysiert. Durch Einsatz eines Choppers in den Clusterstrahl ist es möglich, die Partikelgrößenverteilung erheblich einzuengen und monokristalline Silicium-Nanoteilchen größenselektiv auf geeigneten Substraten abzuscheiden. Im Mittelpunkt steht die Untersuchung der Photolumineszenz (PL) der Silicium-Nanoteilchen als Funktion der Teilchengröße. Außerdem werden die Temperatur- und Zeitabhängigkeit der Photolumineszenz sowie der Einfluß der Oberflächenpassivierung (Oxidation, Hydrierung) untersucht. Um eine kontrollierte Passivierung durchführen zu können, müssen die Lumineszenz-Experimente in derselben Vakuumapparatur stattfinden, in der die Teilchen erzeugt werden. Durch Einbetten der Silicium-Nanoteilchen in eine kryogene Matrix wird die Oberflächenpassivierung "eingefroren". Zusätzlich werden die PL-Untersuchungen von einer Charakterisierung mittels hochauflösender Elektronenmikroskopie (HREM) begleitet.