スパッタリング法を用いた超微粒子の新しい生成法
スパッタリング法を用いた超微粒子の新しい生成法
批准号:
60550031
负责人:
八谷 繁樹
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份:
1985
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1985 至 --
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会议论文
流動油面上真空蒸着による金属超微粒子の大量作製
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批准号:X00090----155003
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1976
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负责人:八谷 繁樹
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依托单位: