In-situ-Spannungsentwicklung und Eigenschaften gesputterter magnetischer Multilagen

in Mittelpunkt des Projektes stehen die Ermittlung des Spannungsaufbaus in den magnetischen Multilagen Cu/Permalloy and / oder Cu/Co （Spannungsverläufe in den Teilschichten und der Grenzschicht）和Erkenntnisse zur Korrelation mit den Beschichtungsbedingungen and hinsichtlich der Auswirkungen auf die magnetischen and Magnetotransporteigenschaften （gmr - effet）。在此基础上，建立了一种新型等离子体检测系统，并对其进行了分析。unterzung der Prozeßparameter sollen konzentrures - tiefenprofile im grenzschichtereich simuliert and mit Ergebnissen microstruktureller Untersuchungen verglichen werden。本征性研究与磁性研究：本征性研究与磁性研究；本征性研究与磁性研究与理论研究。模拟技术与理论[j] .德国德累斯顿大学学报（自然科学版）。

Im Mittelpunkt des Projektes stehen die Ermittlung des Spannungsaufbaus in den magnetischen Multilagen Cu/Permalloy und/ oder Cu/Co (Spannungsverläufe in den Teilschichten und der Grenzschicht) und Erkenntnisse zur Korrelation mit den Beschichtungsbedingungen und hinsichtlich der Auswirkungen auf die magnetischen und Magnetotransporteigenschaften (GMR-Effekt). Im einzelnen wird die in-situ-Spannungsmessung in einer UHV-Beschichtungsanlage mit Plasmaprozeß-Diagnostik aufgebaut und entsprechende Beschichtungen werden durchgeführt. Unter Nutzung der Prozeßparameter sollen Konzentrations-Tiefenprofile im Grenzschichtbereich simuliert und mit Ergebnissen mikrostruktureller Untersuchungen verglichen werden. Die Auswirkungen auf die elektrischen und magnetischen Eigenschaften werden durch Magnetowiderstands- und Magnetisierungsmessungen untersucht und mit theoretischen Modellbetrachtungen verglichen. Simulationsrechnungen und theoretische Modellbetrachtungen zum GMR-Effekt werden bei Kooperationspartnern außerhalb des IFW Dresden durchgeführt.