Adaptive illumination for microscopic optical topometry

Vielfach kann die microtopografie，在每个die microrauheit technischer Oberflächen messtechnisch night erfast werden，一个die Makrogestalt zu kennen。Die Untersuchung der Oberflächen auf deren microskopische Beschaffenheit(rauheitparameter, geometrische Parameter, Defekte) ist jedoch von großer Bedeutung fr Die Lebensdauer industrieller produckte。因此，istetwa bei Motoren das Volumen von Schmiertaschen der Zylinderinnenfläche eine Kenngröße r deren Verschleißverhalten and damit von grote ßer wiichtigkeit。[3]在信息技术方面，德国科学与技术研究所的研究进展Qualitätssicherung生产与技术研究中心。[3]光学与传感技术问题研究进展lösen，传感系统研究进展进展，光学与传感技术进展进展研究进展，光学与传感技术进展进展研究进展。[3] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]在德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德，德国梅斯费尔德。模具定位在Feinmessungen的内部halb的makroskopischen messberichs的内部传感器系统。复杂的Ablauf einer gesamamten integrgrierten Messung bleibt someit nach ßen verorgen。

Vielfach kann die Mikrotopografie, aber auch die Mikrorauheit technischer Oberflächen messtechnisch nicht erfasst werden, ohne die Makrogestalt zu kennen. Die Untersuchung der Oberflächen auf deren mikroskopische Beschaffenheit(Rauheitsparameter, geometrische Parameter, Defekte) ist jedoch von großer Bedeutung für die Lebensdauer industrieller Produkte. So ist etwa bei Motoren das Volumen von Schmiertaschen der Zylinderinnenfläche eine Kenngröße für deren Verschleißverhalten und damit von großer Wichtigkeit. Ebenso bedeutsam ist der Einsatz von mikrotopometrischen Verfahren zur Qualitätssicherung von Produktionsprozessen, z. B. in der Umformtechnik.Um dieses Problem mit Hilfe der optischen Messtechnik zu lösen, soll erstmals ein kombiniertes Sensorsystem entwickelt werden, das in der Lage ist, makro- und mikroskopische 3D-Messungen durchzuführen. Hierzu kommen zwei Messprinzipien in Kombination zum Einsatz: die konfokale Mikrotopometrie und die bereits im Teilprojekt A5 des SFB 514 erfolgreich eingesetzte Technik der Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion. Diese zwei Prinzipien werden gezielt für die Aufgaben eingesetzt, deren Anforderungen sie am besten erfüllen: Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion zur Untersuchung ausgedehnter Messfelder, konfokale Mikrotopometrie zur feinauflösenden Messung in kleinen Messfeldern. Die Positionierung der Feinmessungen innerhalb des makroskopischen Messbereichs erfolgt hierbei im Inneren des Sensorsystems. Der komplexe Ablauf einer gesamten integrierten Messung bleibt somit nach außen verborgen.