3D-Mikrokalibrierstrukturen und Referenzflächen zur quantitativen Analyse der Topographie von mikrostrukturierten Membranen

这是一个地形学的定量预测，是一位著名的艺术家。这是一种新型的纳米技术，也是一种被动的技术。产品的生产控制与技术的标准化是一致的。他们是绝地武士，也就是Strukturtäler zu erfassen和Kleiner Sind Als der NadelduchMesser。Geeignete 3D-Verfahren Sind die MikroPhotogram Mittels Rasterelektronenmikroskop(REM)和die konfokale Laserrastermikroskopie(CLSM)。从地形图和地形图到罗海特地貌都是如此。信息的融合是为了更好地利用信息系统。这是一项灵活的技术，也是一项最好的技术，也是一项新的技术。这是一件非常重要的事情，我不知道。在这片土地上，最好的地貌也是最好的。在Originalgröçe zu reproduzieren and diese MIT den realen OberfläChen zu vergleichen中，我们将会发现，这是一件非常重要的事情。

Ziel des Projekts ist die quantitative Bestimmung der Topographie mikrostrukturierter Oberflächen von Membranen zur Gasfilterung. Deren funktionelle Schicht ist eine keramische Struktur mit Nano-Kanälen, die nur bestimmte Gase passieren lassen. Das derzeit für die Produktionskontrolle einzig verfügbare standardisierte Verfahren zur Bestimmung der technischen Oberflächenparameter ist das Nadeltastverfahren. Dieses Verfahren ist jedoch ungeeignet, Strukturtäler zu erfassen, die kleiner sind als der Nadeldurchmesser. Geeignete 3D-Verfahren sind die Mikrophotogrammetrie mittels Rasterelektronenmikroskop (REM) und die konfokale Laserrastermikroskopie (CLSM). Die Daten aus beiden Messverfahren sollen korreliert und für die Bestimmung der Topographie und der Rauheit eingesetzt werden. Die Fusion der Messdaten ist aber nur mit exakt kalibrierten Systemen möglich. Ziel dieser Zusammenarbeit ist es, hierfür mittels fokussierter Ionenstrahl (FIB) Technik flexibel gestaltbare und optimal skalierte Mikrostrukturen herzustellen, die für beide Messsysteme eingesetzt werden können. Durch die hochgenaue Vermessung (metrologisches AFM) können sie als Normale eingesetzt werden. Sowohl für die Anwendbarkeit zur Kalibierung als auch für die Kalibrieurng selbst soll die Anordnung und Topographie der Strukturen optimiert werden. Die FIB-Technik soll außerdem verwendet werden, um gemessene und simulierte Membranoberflächen in Originalgröße zu reproduzieren und diese mit den realen Oberflächen zu vergleichen.