University of York and Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited
University of York and Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited
约克大学和牛津仪器纳米技术工具有限公司
批准号：
512022
负责人：
金额：
$12.51万
依托单位：
依托单位国家：
英国
项目类别：
Knowledge Transfer Partnership
财政年份：
2021
资助国家：
英国
项目状态：
已结题
起止时间：
2021 至 --
中文摘要
翻译
通过将结构电极结合到反应器中，从使用等离子体处理的半导体晶片中获得更大的成品率。
英文摘要
To achieve greater yields from semiconductor wafers produced using plasma processing by incorporating structured electrodes into the reactor.
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