高分辨率光扫描型二维PH图象传感器及其成像研究
批准号：
60176028
项目类别：
面上项目
资助金额：
23.0 万元
负责人：
牛文成
依托单位：
学科分类：
半导体电子器件与集成
结题年份：
2004
批准年份：
2001
项目状态：
已结题
项目参与者：
张福海、俞梅、孙学珠、陈兴梧、那兴波、罗伟栋、贾芸芳、李华伟、谢建湘
关键词：
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
以LAPS为基础,光扫描与硅膜超薄化技术相结合,研究具高分辨率,并能以可视化的化学图像硎救芤篜H分布的光扫描型二维PH图像传感器.结合成像实验,重点研究硅膜厚度,硅膜晶片结构,成膜均匀性及光点尺寸与扫描速度等对二维PH图像的影响;给出理论结果与理论模型,为允疽禾錚H 参数的二维图像提供新型的传感器件.国内外未见报道.
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
南开大学学报（自然科学版）,
影响因子：
--
作者：
[林立旻, 牛文成, 赵 煜, 喻 骏, 秦 艳]
通讯作者：
秦 艳
DOI：
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发表时间：
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期刊：
南开大学学报（自然科学版
影响因子：
--
作者：
[贾芸芳, 牛文成]
通讯作者：
牛文成
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
南开大学学报（自然科学版）,
影响因子：
--
作者：
[牛文成, 刘国华, 林立旻, 喻 骏, 周明勇, 岳 钊, 贾芸芳, 张福海, 俞 梅]
通讯作者：
俞 梅
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
仪表技术与传感器
影响因子：
--
作者：
[张志勇, 陈兴梧, 牛文成, 陈 诚, 孙兴文]
通讯作者：
孙兴文
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
传感技术学报,
影响因子：
--
作者：
[牛文成, 喻 骏, 林立旻, 周明勇, 贾芸芳, 张福海, 俞 梅, 那兴波, 刘国华]
通讯作者：
刘国华
室温工作HSGFET型高灵敏O3传感器的研究
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批准号：69876023
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项目类别：面上项目
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资助金额：13.0万元
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批准年份：1998
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负责人：牛文成
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依托单位：
EIS并列型光寻址半导体体液分析传感器的研究
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批准号：69476036
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项目类别：面上项目
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资助金额：7.5万元
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批准年份：1994
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负责人：牛文成
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依托单位：
高灵敏度半导体臭氧传感器的研究
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批准号：69376029
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项目类别：面上项目
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资助金额：6.5万元
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批准年份：1993
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负责人：牛文成
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依托单位：
改善LaF3栅MIS型固态氧传感器特性的研究
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批准号：69176032
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项目类别：面上项目
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资助金额：4.0万元
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批准年份：1991
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负责人：牛文成
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依托单位：
国内基金
海外基金