应用于薄膜材料元素深度分布表征的脉冲射频辉光放电离子源研制
批准号：
22474120
项目类别：
面上项目
资助金额：
50.00 万元
负责人：
杭纬
依托单位：
学科分类：
化学科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
杭纬
关键词：
--
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