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垂直凝固(VF)法生长<100>GaAs单晶的工艺探索

批准号:
69376003
项目类别:
面上项目
资助金额:
5.0 万元
负责人:
王永鸿
学科分类:
半导体材料
结题年份:
1995
批准年份:
1993
项目状态:
已结题
项目参与者:
马碧春、宋萍、王文山、韩庆斌

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