智能化硅基IV族超高真空化学气相沉积系统
批准号：
62527811
项目类别：
国家重大科研仪器研制项目
资助金额：
765.00 万元
负责人：
薛春来
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
薛春来
关键词：
--
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