课题基金 / 基金详情

基于体等离激元的超透镜光刻分辨力增强机理研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
刘相志
依托单位：
重庆理工大学
学科分类：
光学
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘相志
关键词：
体等离激元 超透镜 光刻分辨率 增强技术 纳米光学

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  • 批准号：
    62505034
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    刘相志
  • 依托单位：
    重庆理工大学
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