碳化硅晶圆动态时域调制超快激光低损加工协同高效平坦化技术研究
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
10.0 万元
负责人：
龙江游
依托单位：
学科分类：
无机非金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
龙江游
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依托单位：
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